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洁净室检测之激光尘埃粒子计数器采样点选择
发布时间:2021-03-29   点击次数:125次

洁净室检测前,首先需要设置粒子计数器的采样流量,每个点采样3次,每次持续1分钟,单向流时,采样探头指向气流。如果气流方向不确定,采样探头应垂直向上,采样位置高度大约在0.8~1.5米高度,为工作区高度,采样点的选择要确保均匀分布洁净室或洁净区域。

粒子计数器一般按流量分为0.1CFM(2.83L/min)、1CFM(28.3L/MIN)、50L、100L等标准流量,大部分情况下洁净室每次采样1分钟,每个采样点采样3次 ,3个采样点以上时,每个采样点可以采样2次。空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm~5.0μm,ISO14664要求每个采样点的采样量至少为2升,采样时间最少为1分钟。
采样前需要计算最少采样点数,可以按照《洁净厂房设计规范》GB50073-2013中提供的公式进行计算。ISO 14644-1:20159(E)也提供了详细的计算公式,以及公式解读,并且给出了一个面积选择表,如下面表格所示,可根据洁净室检测的面积查到待测试的取样点最小数量。

有关洁净室区域的取样点:

洁净室面积(m2)少于或等于

待测试的取样点最小数量(NL)

2

1

4

2

6

3

8

4

10

5

24

6

28

7

32

8

36

9

52

10

56

11

64

12

68

13

72

14

76

15

104

16

108

17

116

18

148

19

156

20

192

21

232

22

276

23

352

24

436

25

636

26

1000

27

>1000

见公式(A.1

备注1:如果被考虑面积在表格里两数值之间,取两者之间的较大数值。

备注2:如果是单向气流,区域可被视作移动空气断面于气流方向垂直。在其他所有情况下,可被视作洁净室或洁净区的平面图区域。

 

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