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洁净室的空气洁净度的静态测试
发布时间:2021-09-13   点击次数:49次


  静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有


生产人员的情况下进行测试。



  (一)测试前的准备


  1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。


  2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的


上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/


升。


  如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高


效空气过滤器2-3厘米处,可以2-4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头


胶处和安装框架处进行扫描。


  当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5μm的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于


0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。




  (二)测试内容


  1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;


  2、洁净室压力值;


  3、层流洁净室断面风速和气流流向;


  4、洁净工作区的洁净度;


  5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;


  6、洁净室内噪声。


  (三)洁净工作区空气洁净度的测试方法


  对于粒径大于或等于0.5μm的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法,也可采用滤膜显微


镜计数法。


  光散射粒子计数法:


  1、光散射粒子计数器采样量100级:每次采样量大于或等于1升。1,000级-10,000级:每


次采样量大于或等于0.3升。100,000级:每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净


室,宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时,可采用每次采样量不小于1


升的粒子计数器。


  2、 采样注意事项:


  ①采样管必须干净,连接处严禁渗漏。


  ②采样管的长度,应根据仪器的允许长度。当无规定时,不宜大于1.5米。


  ③采样管口的流速,宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。


  ④采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。




  3 、测点布置:


  ①检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为离地面1米。


  ②层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为0.5-2.0米,粒径大于或等于0.5μm的尘


粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。


  ③乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平


方米,增加3-5个测点。


4、数据整理:


  ①每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即


为该点的实测数值。


  ②对于大于或等于0.5μm的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点最大值,乱流洁净室取


各测点的平均值。


  (四)正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。


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