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手持式粒子计数器的应用
发布时间:2021-08-25   点击次数:64次

     随着社会不断进步,工业体制不断的完善,人们开始越来越重视工作的环境,良好洁净的工作环境不仅提升员工的工作效率同时还能保障员工的身体健康,并且洁净车间还能将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,亦即是不论外在的空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。目前,洁净技术已广泛应用于各行各业或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制、由于各行业间差距较大,且要求不同,因此控制环境的内容、指标均不相同。



     在半导体器件晶圆的制造过程中,其易受外来物、灰尘粒子、金属离子等外来物的影响而破坏表面结构、电子特性等的产品特点决定了其制造过程必须有洁净度的要求,而经过长期的实践分析,我们发现在半导体晶圆测试的过程中,测试间也必须置于洁净室中,洁净度的控制也同样重要。洁净室的洁净度控制不好时,会导致空气中的含尘量过高,从而导致外来物的增加,进而影响测试时的良率和稳定性甚至会导致探针测试卡的损坏。


     洁净室(Clean Room),亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。



     洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。


     一般在洁净室是有等级的,采用多种工序操作时,应根据各工序不同的要求,采用不同的空气洁净度等级,依据工序要求确定等级。医药工业药生产工序的洁净级别和洁净区的划分,应参照《药品生产质量管理规范》中制剂和原料药工艺内容及环境区域划分而定。药品生产洁净室的空气洁净度划分为四个等级。在满足生产工艺要求的前提下,首先应采用低洁净等级的洁净湿或局部空气净化;其次可采用局部工作区域空气净化和第等级全市空气净化相结合或采用全面空气净化。对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。当其多次出现时,方可认为该测试数值是可靠的。


    手持式粒子计数器被广泛的使用在无尘车间内,用来测试无尘车间的洁净等级。通过空气洁净度等级表我们可知四个等级的空气中的微米尘粒数及取样因此当在生产车间里,空气中的悬浮颗粒存在各种形式,有动物的皮屑,植物的花粉,空气中浮游的细菌,还有一些颗粒物等。为了更准确的识别和诊断获取环境中的粒子污染信息,以确认洁净工厂环境是否满足洁净室等级标准,必须使用尘埃粒子计数器。



    粒子计数器是利用光的散射原理进行尘粒计数来测试空气尘埃粒子颗粒的粒径及其分布的专用仪器。光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒大小而言,有一个基本规律,就是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。这样一定流量的含尘气体通过一束强光,使粒子发射出散射光,经过聚光透镜投射到光电倍增管上,将光脉冲变为电脉冲,由脉冲数求得颗粒数。


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